Stacis III TMC

Le STACIS® III est un système avancé d’annulation actif des vibrations. Flexible, il inclut des capteurs de vibration inertiels, des algorithmes de contrôle sophistiqués, et des actionneurs piezoélectriques à la pointe de leur technologie. Le STACIS annule les vibrations en temps réel en mesurant en continu l’activité du sol et en donnant la consigne aux actionneurs de filtrer les mouvements du sol.

Description

Avantages du STACIS III de TMC

  • Des centaines de fois plus rigide que les isolateurs à air : le STACIS n’a aucune des limitations des isolateurs à air, et il peut être placé sous un équipement possédant déjà une isolation à air sans que cela n’interfère.
  • Conception « en série » unique et une technologie piezoélectrique propriétaire : bande active de 0.6Hz à 150Hz, avec une vraie isolation 90% dès 2Hz
  • Nouveau contrôleur DC-2020 avec processeur dual-core, interface utilisateur conviviale et facile d’utilisation.

Performances et spécifications du STACIS III

Degré de liberté actif 6
Bande passante active 0.6 Hz – 150 Hz
Fréquence naturelle passive 18 Hz vertical et horizontal
Fréquence de résonance active effective 0.5 Hz
Isolation à 1 Hz 40% – 70%
Isolation  ≥2 Hz ≥90%
Temps de stabilisation après input 4.5 kg (réduction 10:1) 0.3 sec
Bruit interne <0.1 nm RMS
Charge opérationnelle par isolateur Low capacity: 181-499 kg
Med capacity: 408-953 kg
Hi capacity: 862-2041 kg
Rigidité (masse 454 kg, isolateur capacité medium) 40,000 lb/in. (73 x 105 N/m)
Champ magnétique émis à maximum 102 mm de l’isolateur <0.02 μG large bande RMS

Applications

  • Microlithographie
  • Métrologie ultra précise
  • Equipements d’inspection sensibles
  • Nanotechnologies, nanofabrication

Le fabricant

TMC conçoit et fabrique des systèmes avancés sur la base des technologies anti-vibratoires actives et passives. Les produits TMC permettent une recherche, des mesures et de la fabrication à très haute précision dans les domaines de la photonique, des sciences de la vie et des nanotechnologies.

Photon Lines SAS est le distributeur exclusif de ce système en France.

 

Informations complémentaires

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