Stacis IV TMC

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La technologie STACIS® 4 est le système actif d’isolation des vibrations le plus avancé du marché. Utilisant des capteurs de vibration inertiels, des algorithmes de contrôle sophistiqués et des actionneurs piézoélectriques de pointe, STACIS® 4 inhibe les vibrations en temps réel en mesurant en continu l’activité du sol, puis en dilatant et en contractant les actionneurs piézoélectriques pour filtrer les vibrations mesurées. Le tout nouveau STACIS 4 s’appuie sur le succès de la technologie éprouvée STACIS, qui est utilisée par 9 des 10 principaux fabricants de semi-conducteurs dans le monde.

Avantages du STACIS IV de TMC

Le système STACIS 4 comprend un nouveau contrôleur numérique amélioré à faible bruit, le DC-2020 avec un processeur double cœur . Ce nouveau système de contrôle avancé offre à l’utilisateur une interface utilisateur une interface graphique (GUI) facile à utiliser.
La technologie STACIS 4 s’appuie sur l’architecture avancée des générations précédentes en ajoutant des algorithmes de contrôle optimisés et une nouvelle technologie brevetée. Elle permet une annulation de la quasi-totalité des vibrations se propageant au sol, inégalée, à toutes les fréquences, et en particulier en dessous de 10 Hz, où l’imagerie et la métrologie à haute résolution sont les plus sensibles. Combiné à la technologie brevetée FloorSense™, le système STACIS 4 réduit les vibrations de 60 dB à 2 Hz et de 27 dB à 1 Hz.

Performances du STACIS IV

 

Applications

  • Microlithographie
  • Métrologie ultra précise
  • Equipements d’inspection sensibles
  • Nanotechnologies, nanofabrication

Le fabricant

TMC conçoit et fabrique des systèmes avancés sur la base des technologies anti-vibratoires actives et passives. Les produits TMC permettent une recherche, des mesures et de la fabrication à très haute précision dans les domaines de la photonique, des sciences de la vie et des nanotechnologies.

Photon Lines SAS est le distributeur exclusif de ce système en France.

 

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